Kamp Oranienburg is klein en wordt al snel weer gesloten, maar vanaf 1936 worden nieuwe, grote kampen in gebruik genomen: Sachsenhausen, Buchenwald, Flossenbürg, Neuengamme en in 1939 speciaal voor vrouwen Ravensbrück. Als de nazi’s in ’38 Oostenrijk hebben veroverd (de Anschluss), komt ook daar al snel een kamp: Mauthausen. En als in ’39 westelijk Polen is bezet, wordt er bij Gdansk een kamp geopend, waar in eerste instantie Poolse burgers worden opgesloten: Stutthof. In mei 1940 wordt Auschwitz in gebruik genomen.
Vanaf 1941 komt er een hele reeks van kampen bij, zowel in Duitsland (zoals Bergen-Belsen, in het begin voor Sovjet-krijgsgevangenen) als in de bezette gebieden (onder andere Natzweiler in Frankrijk en Theresienstadt in Tsjechië). Dat gaat gestaag zo door. Naast politieke tegenstanders en krijgsgevangenen zijn de kampen steeds meer bedoeld voor Joden, voorzover deze niet in getto’s zijn samengedreven of al naar vernietigingskampen zijn afgevoerd. Daarnaast worden Sinti en Roma, homoseksuelen en Jehovah’s Getuigen in de kampen opgesloten.
Aan de concentratiekampen worden vele honderden werkkampen verbonden. In de kampen geldt het devies van SS-leider Heinrich Himmler ‘Vernietiging door arbeid’: de bedoeling is dat de gevangenen sterven door een combinatie van beroerde omstandigheden, ondervoeding, slechte verzorging en brute behandeling met extreem zwaar werk. Daarnaast worden vele, vele duizenden doodgeschoten of doodgeslagen.
In de vanaf juni ’41 bezette delen van de Sovjet-Unie nemen de nazi’s meestal niet de moeite kampen te bouwen. Speciale SS-eenheden, geholpen door collaborateurs uit onder andere Litouwen, Roemenië en Bulgarije, richten hier ter plekke bloedbaden aan onder Joden, Sinti, Roma, leidinggevende communisten en andere burgers.